Кущев Сергей Борисович | |
![]() |
Подразделение: Химический факультет Кафедра: материаловедения и индустрии наносистем Ученая степень, ученое звание, должность: доктор физико-математических наук, профессор, ведущий научный сотрудник Научная специальность по диплому: 01.04.07 – физика твердого тела Почетные звания и награды: Награжден значком «Изобретатель СССР», присвоено звание «Почетный работник высшего профессионального образования Российской Федерации». Основные биографические данные: 1952 – год рождения; 1974 – окончание физико-технического факультета Воронежского политехнического института; 1981 – защита кандидатской диссертации; 2000 – защита докторской диссертации; 2003 – присвоение ученого звания профессора. Краткая аннотация научной деятельности: Сфера научной деятельности - материаловедение тонких пленок. Исследование закономерностей ориентированного роста и структуры пленок металлов при вакуумной конденсации в области высоких температур (800 – 1300 К). Исследование эффекта фотонной активации в синтезе пленочных наноструктур силицидов металлов, полупроводниковых соединений, оксидов, карбидов тугоплавких металлов и кремния, в нанокристаллизации аморфных материалов, рекристаллизации материалов; на его основе разработаны технологические процессы создания контактно-металлизационных систем СБИС. Количество опубликованных работ: 272 в т.ч. 2 учебных пособия Количество подготовленных кандидатов наук: 5 Электронный адрес: kushev_sb@mail.ru Телефон: +7(473) 246-76-33 |